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  • 固定在線式砷化氫檢測報警儀
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固定在線式砷化氫檢測報警儀

產(chǎn)品描述:

ERUN-PG51SAX3固定在線式砷化氫檢測報警儀適用于硅中N型擴散、生長砷化鎵GaAs、外延硅的N型摻雜、離子注入、磷砷化鎵GaAsP等半導體及有機砷化物合成過程中砷化氫AsH3濃度的監(jiān)測,固定式砷化氫泄漏檢測儀能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測環(huán)境空氣中的砷化氫的濃度值及泄漏狀況,在線式砷烷濃度報警探測器在監(jiān)測到砷烷濃度達到或超過預設的報警值時就會發(fā)出聲光報警,自動聯(lián)鎖風機電磁閥啟停,并同步在監(jiān)控主機上顯示砷烷濃度值和報警狀態(tài)。

產(chǎn)品型號: ERUN-PG51SAX3
產(chǎn)品認證:
固定在線式砷化氫檢測報警儀認證證書
可檢測氣體:
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  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 功能特點
  • 產(chǎn)品配置
  • 服務保障
產(chǎn)品型號 ERUN-PG51SAX3
檢測氣體 砷化氫AsH3

選配:最多可同時檢測任意1~6種氣體和溫濕度
量程分辨率 AsH3:0-10ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器

其他量程、原理、分辨率可訂制
檢測精度 ≤±2%F.S(更高精度可訂制)
響應時間 T90≤20秒
信號輸出 總線制RS485(RTU),
分線制4~20mA、0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V(選配),
無線傳輸(選配)
工作電源 12~30V(DC直流,單臺設備的標準電源為24V,1A或大于1A 的直流開關電源)
工作方式 固定式安裝,在線檢測,擴散式測量;管道式、流通式、泵吸式可選
安裝方式 管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%,超出范圍需降壓處理
報警方式 現(xiàn)場聲光報警(一體式揚聲喇叭+LED閃光燈)、顯示屏報警,可選配氣體報警控制器進行報警
電氣接口 3/4NPT,可選M20*1.5內螺紋、1/2NPT
連接電纜 4~20mA選三芯屏蔽電纜,RS485選四芯,距離超1000米時單根線徑≥1.5mm;屏蔽層接大地。
防護等級 IP66級防水防塵
防爆功能 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
防腐功能 氟碳漆涂裝防腐工藝
外型尺寸 210×170×85mm(L×H×W)
產(chǎn)品重量 2400g
信譽單位

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陜西省AAA級信譽單位

國內頂尖服務商

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6年來被評為國內頂尖服務商

技術人員

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公司擁有150多名高級技術人員

合作客戶

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