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  • 固定在線式三氟化氮檢測報警儀
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固定在線式三氟化氮檢測報警儀

產(chǎn)品描述:

ERUN-PG51NF3固定在線式三氟化氮檢測報警儀適用于半導(dǎo)體芯片、平板顯示器、光纖、光伏電池等使用三氟化氮NF3作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑的工況場所,固定式三氟化氮泄漏檢測儀可以連續(xù)實時在線監(jiān)測空氣中三氟化氮的濃度值及泄漏狀況。在線式氟化氮NF3濃度報警探測器能夠在監(jiān)測到三氟化氮濃度達到或超過儀器預(yù)設(shè)的報警濃度值時時就會發(fā)出聲光報警,信號遠程傳輸至值班室監(jiān)控主機上同步顯示氟化氮的濃度值和報警狀態(tài),并自動聯(lián)鎖控制排氣風(fēng)機進行通風(fēng)換氣。

產(chǎn)品型號: ERUN-PG51NF3
產(chǎn)品認證:
固定在線式三氟化氮檢測報警儀認證證書
可檢測氣體:
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  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 功能特點
  • 產(chǎn)品配置
  • 服務(wù)保障
檢測氣體 三氟化氮NF3
量程分辨率 NF3:0-50ppm、0.01ppm、進口高精度電化學(xué)原理傳感器

NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度電化學(xué)原理傳感器

其他量程、原理、分辨率可訂制
檢測精度 ≤±3%F.S(更高精度可訂制)
重 復(fù) 性 ≤±2%
線 性 度 ≤±2%
不確定度 ≤±2%
響應(yīng)時間 T90≤20秒
恢復(fù)時間 ≤30秒
信號輸出 總線制RS485(Modbus-RTU),分線制4~20mA,
選配:0~20mA、1~5V、0~5V、0~10V、無線傳輸、網(wǎng)絡(luò)傳輸、短信報警。
工作方式 固定式安裝,在線檢測,擴散式測量;可選管道式、流通式、泵吸式測量。
顯示方式 現(xiàn)場1.7寸高清彩屏顯示,可選現(xiàn)場無顯示,或選配ERUN-PG32E控制器遠程顯示、控制、報警
報警方式 默認1路,可選2路無源觸點(干節(jié)點)輸出,三級報警,報警點可設(shè)置
現(xiàn)場聲光報警
安裝方式 管道式、壁掛式。管道式的工作壓力為大氣壓±30%,超出范圍需降壓處理。
工作電壓 12~30VDC直流,單臺設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)電源為24V,1A或大于1A 的直流穩(wěn)壓開關(guān)電源
工作環(huán)境 溫度:-40℃~+70℃,濕度:≤10~95%RH (常規(guī))非凝露場合
在凝露場合使用須訂制或訂貨時注明使用環(huán)境
電氣接口 3/4NPT,可選M20*1.5內(nèi)螺紋、1/2NPT
連接電纜 4~20mA選三芯屏蔽電纜,RS485選四芯,距離超1000米時單根線徑≥1.5mm;屏蔽層接大地。
防護等級 IP65級防水防塵
防爆類型 隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
外型尺寸 210×170×85mm(L×H×W)
重    量 1600g
信譽單位

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陜西省AAA級信譽單位

國內(nèi)頂尖服務(wù)商

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6年來被評為國內(nèi)頂尖服務(wù)商

技術(shù)人員

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公司擁有150多名高級技術(shù)人員

合作客戶

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累計合作客戶2000+

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