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甲硅烷氣體檢測儀報警值是多少

時間:2024-11-14  來源:氣體檢測報警儀  作者:贏潤集團
甲硅烷SiH4作為一種重要的工業(yè)氣體,廣泛應用于半導體制造、太陽能電池板生產(chǎn)等多個高科技領域。然而,甲硅烷不僅具有高度的可燃性和爆炸性,還屬于對人體有毒有害的氣體,對人體健康構(gòu)成潛在威脅。因此,了解并正確設置甲硅烷氣體檢測儀的報警值對于保障作業(yè)安全至關重要,那么甲硅烷氣體檢測儀報警值是多少呢?一般而言,主要可以從可燃易爆和有毒有害兩個方面來進行設定,下面就和贏潤集團工作人員一起來了解一下四氫化硅報警設定值國家標準吧!
甲硅烷氣體
甲硅烷氣體具有以下危險特性
1、可燃易爆
甲硅烷的爆炸極限為0.8%~98%VOL,即在空氣中濃度達到0.8%至98%時,遇火源即可發(fā)生爆炸。
2、有毒有害
甲硅烷對人體具有一定的毒性,OEL職業(yè)接觸限值為6.6mg/m3(4.62ppm)。

針對甲硅烷氣體的危險特性,甲硅烷氣體檢測儀的報警值設定分為以下兩種情況
1、無人存在的工況場所
此時,甲硅烷氣體檢測儀主要針對可燃易爆特性進行檢測。采用催化燃燒原理傳感器的檢測儀,量程范圍為0-100%LEL,即0-0.8%VOL。一級AL低報警設定值為≤25%LEL(0.2%VOL),二級AH高報警設定值為≤50%LEL(0.4%VOL)。
2、有人員存在的工況場所
此時,甲硅烷氣體檢測儀需針對有毒有害特性進行檢測。采用ECD電化學原理傳感器的檢測儀,一級AL低報警設定值為6.6mg/m3(4.62ppm),二級AH高報警設定值為13.2mg/m3(9.24ppm)。

除了以上基本的報警值設定依據(jù),不同的生產(chǎn)環(huán)境和使用場景也會對報警值產(chǎn)生影響。例如在一些高精度電子芯片制造的車間,由于甲硅烷的微量泄漏都可能對芯片的質(zhì)量產(chǎn)生不可逆轉(zhuǎn)的影響,所以可能會設置更低的報警值。即使甲硅烷的濃度還未達到對人體健康或爆炸危險的常規(guī)報警值,但為了保證產(chǎn)品質(zhì)量,可能會在更低的濃度,如0.1%VOL或者3mg/m3就觸發(fā)報警。

甲硅烷氣體檢測儀在工業(yè)生產(chǎn)中的應用至關重要,尤其是在半導體制造、化工合成等領域。贏潤集團研發(fā)的ERUN-PG51SH4固定在線式硅烷氣體檢測報警儀,能夠連續(xù)實時在線監(jiān)測甲硅烷氣體的泄漏及濃度變化,并在檢測到硅烷蒸氣濃度超過預設的報警濃度值時發(fā)出聲光報警,聯(lián)動風機電磁閥等自動工作。該設備適用于單晶硅、多晶硅、非晶硅等含硅物質(zhì)生產(chǎn)過程中空氣中的SiH4四氫化硅氣體濃度監(jiān)測。
固定在線式甲硅烷(四氫化硅)氣體檢測報警儀
以上就是關于甲硅烷氣體檢測儀報警值是多少的相關介紹,甲硅烷氣體檢測儀的報警值設定對于保障工業(yè)生產(chǎn)安全和人員健康至關重要。通過正確設定報警值并使用高精度的檢測設備,可以有效預防甲硅烷引發(fā)的爆炸和中毒事故。甲硅烷氣體檢測儀報警值的設定是一個綜合考慮多種因素的復雜過程。無論是從甲硅烷本身的特性,還是不同的工況場所、檢測儀的性能、環(huán)境因素以及四氫化硅報警設定值國家標準等方面,都需要進行全面的權(quán)衡,這樣才能確保在甲硅烷存在的環(huán)境中,既能夠保障人員的健康安全,又能夠避免可燃易爆帶來的危險,同時滿足生產(chǎn)過程中的特殊需求。
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